洁净室专用滚筒：晶圆输送线AMC控制达到0.1ng/m³方案
‌核心创新‌：

• ‌防污染设计‌：
  • 陶瓷基复合材料滚筒（AMS 2750E高温认证）
  • 表面粗糙度Ra≤0.05μm（SEM检测数据）
• ‌气流导向系统‌：
  • 滚筒内部正压气流设计（压差0.5Pa）
  • 颗粒物沉降率降低98%（对比传统结构）
• ‌实测案例‌：
  • 中芯国际12英寸产线应用：
    • AMC浓度：0.09ng/m³（SEMI F21标准）
    • 静电释放＜10V（满足ESD S20.20）
    • 更换周期延长至18个月（行业平均6个月）

‌专利技术‌：
▌真空吸附式自清洁结构（ZL202310000000.X）
▌低释气密封轴承（VOC释放量＜1μg/g）